পলিসিলিকন প্রস্তুত করার পদ্ধতি।

1. লোড হচ্ছে

হিট এক্সচেঞ্জ টেবিলে প্রলিপ্ত কোয়ার্টজ ক্রুসিবল রাখুন, সিলিকন কাঁচামাল যোগ করুন, তারপর গরম করার সরঞ্জাম, নিরোধক সরঞ্জাম এবং ফার্নেস কভার ইনস্টল করুন, চুল্লিতে চাপ কমাতে 0.05-0.1mbar এবং ভ্যাকুয়াম বজায় রাখতে চুল্লিটি খালি করুন। চুল্লিতে মূলত প্রায় 400-600mbar চাপ রাখতে একটি প্রতিরক্ষামূলক গ্যাস হিসাবে আর্গনের পরিচয় দিন।

2. গরম করা

ফার্নেস বডিকে গরম করার জন্য একটি গ্রাফাইট হিটার ব্যবহার করুন, প্রথমে গ্রাফাইট অংশ, নিরোধক স্তর, সিলিকন কাঁচামাল ইত্যাদির পৃষ্ঠে শোষিত আর্দ্রতা বাষ্পীভূত করুন এবং তারপর ধীরে ধীরে গরম করুন যাতে কোয়ার্টজ ক্রুসিবলের তাপমাত্রা প্রায় 1200-1300 এ পৌঁছে যায়।℃. এই প্রক্রিয়াটি 4-5 ঘন্টা সময় নেয়।

3. গলে যাওয়া

চুল্লিতে মূলত প্রায় 400-600mbar চাপ রাখতে একটি প্রতিরক্ষামূলক গ্যাস হিসাবে আর্গনের পরিচয় দিন। ক্রুসিবলের তাপমাত্রা প্রায় 1500 এ মানিয়ে নিতে ধীরে ধীরে গরম করার শক্তি বাড়ান℃, এবং সিলিকন কাঁচামাল গলতে শুরু করে। প্রায় 1500 রাখুন℃গলনা প্রক্রিয়া চলাকালীন যতক্ষণ না গলে যাওয়া সম্পন্ন হয়। এই প্রক্রিয়াটি প্রায় 20-22 ঘন্টা সময় নেয়।

4. স্ফটিক বৃদ্ধি

সিলিকন কাঁচামাল গলে যাওয়ার পরে, ক্রুসিবলের তাপমাত্রা প্রায় 1420-1440 এ নেমে যাওয়ার জন্য গরম করার শক্তি হ্রাস করা হয়℃, যা সিলিকনের গলনাঙ্ক। তারপরে কোয়ার্টজ ক্রুসিবল ধীরে ধীরে নীচের দিকে চলে যায়, বা নিরোধক যন্ত্রটি ধীরে ধীরে উপরে ওঠে, যাতে কোয়ার্টজ ক্রুসিবল ধীরে ধীরে হিটিং জোন ছেড়ে যায় এবং চারপাশের সাথে তাপ বিনিময় গঠন করে; একই সময়ে, নীচে থেকে গলে যাওয়ার তাপমাত্রা কমাতে শীতল প্লেটের মধ্য দিয়ে জল চলে যায় এবং নীচে প্রথমে স্ফটিক সিলিকন তৈরি হয়। বৃদ্ধি প্রক্রিয়া চলাকালীন, স্ফটিক বৃদ্ধি সম্পূর্ণ না হওয়া পর্যন্ত কঠিন-তরল ইন্টারফেস সর্বদা অনুভূমিক সমতলের সমান্তরাল থাকে। এই প্রক্রিয়াটি প্রায় 20-22 ঘন্টা সময় নেয়।

5. অ্যানিলিং

স্ফটিকের বৃদ্ধি সম্পন্ন হওয়ার পরে, স্ফটিকের নীচে এবং উপরের অংশের মধ্যে বড় তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্টের কারণে, ইনগটে তাপীয় চাপ থাকতে পারে, যা সিলিকন ওয়েফার গরম করার সময় এবং ব্যাটারি তৈরির সময় আবার ভাঙা সহজ। . অতএব, স্ফটিক বৃদ্ধি সম্পন্ন হওয়ার পরে, সিলিকন ইংগটকে গলনাঙ্কের কাছে 2-4 ঘন্টার জন্য রাখা হয় যাতে সিলিকন ইনগটের তাপমাত্রা সমান হয় এবং তাপীয় চাপ কম হয়।

6. কুলিং

সিলিকন ইংগট চুল্লিতে অ্যানিল করার পরে, গরম করার শক্তি বন্ধ করুন, তাপ নিরোধক যন্ত্রটি বাড়ান বা সিলিকন ইংগটটিকে সম্পূর্ণভাবে কমিয়ে দিন এবং সিলিকন ইংগটের তাপমাত্রা ধীরে ধীরে কমাতে চুল্লিতে আর্গন গ্যাসের একটি বড় প্রবাহ প্রবর্তন করুন। ঘরের তাপমাত্রা; একই সময়ে, চুল্লিতে গ্যাসের চাপ ধীরে ধীরে বাড়তে থাকে যতক্ষণ না এটি বায়ুমণ্ডলীয় চাপে পৌঁছায়। এই প্রক্রিয়াটি প্রায় 10 ঘন্টা সময় নেয়।